搜索结果(共计:11条)
专利号:CN202110349637.1
公布日:2023-07-21
申请人:广东威特真空电子制造有限公司;美的集团股份有限公司
专利号:CN202310362649.7
公布日:2023-07-18
申请人:中国人民解放军国防科技大学
专利号:CN202111011032.8
公布日:2023-03-03
申请人:广东威特真空电子制造有限公司;美的集团股份有限公司
专利号:CN202210198432.2
公布日:2022-06-03
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN202022792697.4
公布日:2021-06-29
申请人:上海辰昊超导科技有限公司
专利号:CN201810486649.7
公布日:2020-01-31
申请人:中国工程物理研究院应用电子学研究所
专利号:CN201610639248.1
公布日:2017-12-29
申请人:成都八九九科技有限公司
专利号:CN201110129406.6
公布日:2012-11-21
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN200880021628.2
公布日:2010-03-31
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200510071748.1
公布日:2005-10-05
申请人:东芝北斗电子株式会社
专利号:CN88109996.1
公布日:1990-06-20
申请人:国营第七七二厂