搜索结果(共计:9条)
专利号:CN202180075906.8
公布日:2023-08-04
申请人:应用材料股份有限公司
专利号:CN202180068861.1
公布日:2023-06-23
申请人:应用材料股份有限公司
专利号:CN201280029018.3
公布日:2014-03-12
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN201080032270.0
公布日:2012-07-11
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200980131051.5
公布日:2011-07-06
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200980115537.X
公布日:2011-05-04
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200780034015.8
公布日:2009-09-16
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN200780002667.3
公布日:2009-02-18
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN01804801.3
公布日:2003-02-19
申请人:瓦里安半导体设备联合公司