搜索结果(共计:11条)
专利号:CN201610638266.8
公布日:2020-01-07
申请人:株式会社菲尔科技
专利号:CN201730166765.7
公布日:2017-11-28
申请人:株式会社菲尔科技
专利号:CN201710232006.5
公布日:2017-11-24
申请人:株式会社菲尔科技
专利号:CN201510676104.9
公布日:2016-12-07
申请人:株式会社菲尔科技
专利号:CN201410486091.4
公布日:2016-11-02
申请人:株式会社菲尔科技
专利号:CN201210343170.0
公布日:2013-11-13
申请人:株式会社菲尔科技
专利号:CN201110158466.0
公布日:2012-12-19
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN201110158490.4
公布日:2012-12-19
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN201110126511.4
公布日:2012-11-21
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN201110059870.2
公布日:2012-06-06
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN200980115755.3
公布日:2011-04-13
申请人:株式会社菲尔科技