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专利号:CN201110234962.X
公布日:2011-12-14
申请人:应用材料公司
专利号:CN200780038236.2
公布日:2009-09-02
专利号:CN200480033387.5
公布日:2007-02-07
专利号:CN200480036410.6
公布日:2007-01-03
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