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专利号:CN202210485260.7
公布日:2023-10-10
申请人:齐齐哈尔大学
专利号:CN202110196860.7
公布日:2022-08-30
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
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