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专利号:CN202210862806.6
公布日:2022-11-08
申请人:上海华力集成电路制造有限公司
专利号:CN201910432639.X
公布日:2021-06-15
专利号:CN201410171811.8
公布日:2018-09-25
申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
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