搜索结果(共计:6条)
专利号:CN202110388926.2
公布日:2023-09-01
申请人:北京航空航天大学;北京航空航天大学宁波创新研究院
专利号:CN202111627329.7
公布日:2023-07-25
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202110389758.9
公布日:2023-07-18
申请人:北京航空航天大学;北京航空航天大学宁波创新研究院
专利号:CN202111659178.3
公布日:2022-04-26
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202111655435.6
公布日:2022-03-15
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910125084.4
公布日:2020-11-06
申请人:北京航空航天大学