搜索结果(共计:7条)
专利号:CN202223545481.3
公布日:2023-08-11
申请人:宋铭明
专利号:CN201410063219.6
公布日:2019-08-23
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN201610867978.7
公布日:2019-03-15
申请人:攀钢集团攀枝花钢铁研究院有限公司
专利号:CN201310412111.9
公布日:2018-01-19
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN201310750632.5
公布日:2015-07-01
申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号:CN201210185592.X
公布日:2012-10-24
申请人:中国科学院等离子体物理研究所
专利号:CN201210111430.1
公布日:2012-10-03
申请人:中国科学院等离子体物理研究所