搜索结果(共计:5条)
专利号:CN202310886307.5
公布日:2023-10-24
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN202011260313.2
公布日:2023-09-08
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN202210090120.X
公布日:2022-05-13
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN202010657683.3
公布日:2022-02-22
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN201922056924.4
公布日:2020-11-06
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司