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专利号:CN201980027041.0
公布日:2023-02-28
申请人:应用材料公司
专利号:CN201780005779.8
公布日:2021-03-09
申请人:马格诺麦克斯有限公司
专利号:CN201980024457.7
公布日:2020-12-11
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