搜索结果(共计:17条)
专利号:CN201510995068.2
公布日:2019-11-08
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201510982821.4
公布日:2019-05-03
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201410612314.7
公布日:2019-01-29
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201510985463.2
公布日:2019-01-29
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201510982830.3
公布日:2018-10-12
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201510602262.X
公布日:2018-07-27
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201310150615.8
公布日:2017-08-22
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201310228847.0
公布日:2017-07-25
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410823652.5
公布日:2016-07-20
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201310533284.6
公布日:2016-03-02
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201310719118.5
公布日:2015-06-24
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201310193638.7
公布日:2014-12-03
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201210567795.5
公布日:2014-07-02
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201210553611.X
公布日:2014-06-18
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201210553227.X
公布日:2014-06-18
申请人:中微半导体设备(上海)有限公司