搜索结果(共计:11条)
专利号:CN202310686283.9
公布日:2023-09-15
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202310678551.2
公布日:2023-08-25
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202310588832.9
公布日:2023-08-18
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202010393159.X
公布日:2023-08-04
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202111247949.8
公布日:2023-07-25
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202111249926.0
公布日:2023-07-25
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202011410376.1
公布日:2022-05-17
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202110363036.6
公布日:2022-03-08
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所;浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
专利号:CN202110361588.3
公布日:2021-07-09
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202011412909.X
公布日:2021-03-19
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202010393966.1
公布日:2020-08-14
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所