搜索结果(共计:11条)
专利号:CN202310150815.7
公布日:2023-05-26
申请人:上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202211394557.9
公布日:2023-03-21
申请人:上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202210594888.0
公布日:2022-09-06
申请人:上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202110383929.7
公布日:2022-08-09
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202210047641.7
公布日:2022-05-13
申请人:上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202010657353.4
公布日:2022-02-18
申请人:上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202110529251.9
公布日:2021-09-03
申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN202010656754.8
公布日:2020-10-23
申请人:上海精测半导体技术有限公司
专利号:CN201511022925.7
公布日:2019-11-26
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司;上海微高精密机械工程有限公司
专利号:CN201610200735.8
公布日:2019-05-31
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司
专利号:CN201721440266.3
公布日:2018-05-25
申请人:上海微电子装备(集团)股份有限公司