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专利号:CN202223150525.2
公布日:2023-06-13
申请人:陈汉鸿
专利号:CN201980076654.3
公布日:2021-07-23
申请人:应用材料公司
专利号:CN201980077606.6
专利号:CN02136425.7
公布日:2003-03-05
申请人:浙江大学
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