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专利号:CN202310790733.9
公布日:2023-10-20
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN201911058206.9
公布日:2023-04-14
专利号:CN202111583741.3
公布日:2022-04-29
申请人:西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司
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