搜索结果(共计:6条)
专利号:CN202310594989.2
公布日:2023-10-27
申请人:深圳市大族半导体装备科技有限公司
专利号:CN202320969065.1
公布日:2023-10-20
申请人:深圳市大族半导体装备科技有限公司
专利号:CN202110408293.7
公布日:2022-10-21
申请人:深圳市大族半导体装备科技有限公司
专利号:CN201910109747.3
公布日:2022-04-26
申请人:大族激光科技产业集团股份有限公司
专利号:CN201910339680.2
公布日:2021-08-20
申请人:大族激光科技产业集团股份有限公司
专利号:CN201721535307.7
公布日:2018-06-29
申请人:大族激光科技产业集团股份有限公司