搜索结果(共计:8条)
专利号:CN201911415943.X
公布日:2023-10-20
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201911191612.2
公布日:2023-09-29
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201910554422.6
公布日:2023-09-29
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202111653316.7
公布日:2023-07-11
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201811632020.5
公布日:2023-03-07
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202110251618.5
公布日:2022-09-13
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201911106901.8
公布日:2021-05-14
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201910875853.2
公布日:2021-03-19
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司