搜索结果(共计:35条)
专利号:CN202210475565.X
公布日:2023-05-26
申请人:北京晶亦精微科技股份有限公司
专利号:CN202010449934.9
公布日:2022-03-22
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN202111528836.5
公布日:2022-03-18
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN201910447890.3
公布日:2022-02-01
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN202010352868.3
公布日:2021-11-26
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN201711438787.X
公布日:2021-07-16
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910028558.3
公布日:2021-03-16
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910027859.4
公布日:2020-11-20
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910028561.5
公布日:2020-10-23
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910026240.1
公布日:2020-10-02
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201811533653.0
公布日:2020-09-29
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201910026956.1
公布日:2020-09-08
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201811533702.0
公布日:2020-05-22
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201710990942.2
公布日:2019-12-06
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201611208143.7
公布日:2019-09-24
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)