本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接 机构代码:12247
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单体式检测器
专利号:CN202180086704.3
公布日:2023-08-22
申请人:ASML荷兰有限公司
带电粒子检测系统中的两用读出电路系统
专利号:CN202180085492.7
公布日:2023-08-22
申请人:ASML荷兰有限公司
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