[发明专利]声表面波谐振器有效
申请号: | 201710067035.0 | 申请日: | 2017-02-07 |
公开(公告)号: | CN106911317B | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 董启明;王宁;李善斌;刘长顺;张伟 | 申请(专利权)人: | 深圳华远微电科技有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/64 |
代理公司: | 44224 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种声表面波谐振器,包括基础叉指换能器和反射栅,所述基础叉指换能器包括两个基础叉指换能器单元,并排设置在压电基片上,用于产生声表面波,所述两个基础叉指换能器单元相邻电极条的中心距离为(n+0.05)P~(n+0.2)P(n=1,2,3…),所述反射栅设置在所述基础叉指换能器的两侧,用于反射所述基础叉指换能器产生的声表面波,其中,P为所述基础叉指换能器的周期;通过在两个基础叉指换能器单元之间设置特定的间距,使得其产生的声表面波的速度变化被反射系数变化补偿,进而稳定了谐振频率,谐振频率对声表面波谐振器自身的尺寸,如叉指换能器的金属厚度变化不敏感,使得谐振频率更稳定,同时简化了制造工艺。 | ||
搜索关键词: | 表面波 谐振器 | ||
【主权项】:
1.一种声表面波谐振器,其特征在于,包括:/n基础叉指换能器,包括两个相同的基础叉指换能器单元,并排设置在压电基片上,用于产生声表面波,所述两个基础叉指换能器单元相邻电极条的中心距离为(n+0.05)P~(n+0.2)P(n=1,2,3…);/n反射栅,设置在所述基础叉指换能器的两侧,用于反射所述基础叉指换能器产生的声表面波;/n其中,P为所述基础叉指换能器的周期,所述基础叉指换能器的周期为基础叉指换能器单元连接在同一根汇流条上的两个相邻电极条的中心距离,所述反射栅的半波长为反射栅相邻电极条的中心距离,所述基础叉指换能器的半波长为基础叉指换能器单元相邻电极条的中心距离,所述反射栅的半波长与所述基础叉指换能器的半波长相同。/n
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