传送腔室和包括传送腔室的晶片处理模块

专利号：CN202310113768.9

公布日：2023-10-17

申请人：细美事有限公司

新型粉腔预处理传送装置

专利号：CN202020293296.1

公布日：2020-12-18

申请人：山东新华医疗器械股份有限公司

十二边形传送腔室和具有十二边形传送腔室的处理系统

专利号：CN202211014290.6

公布日：2022-12-06

申请人：应用材料公司

十二边形传送腔室和具有十二边形传送腔室的处理系统

专利号：CN201780033957.8

公布日：2022-09-09

申请人：应用材料公司

一种磁悬浮式衬底传送腔及传送方法

专利号：CN202110964942.1

公布日：2021-11-26

申请人：上海引万光电科技有限公司

真空反应腔室进出料的传送方法及传送设备

专利号：CN201210322344.5

公布日：2012-12-26

申请人：青岛赛瑞达电子装备股份有限公司

一种用于瓜子类食品的筛选设备及其工作方法

专利号：CN202110503912.0

公布日：2021-09-17

申请人：王蕴秋

管腔闭塞装置、传送导管和方法

专利号：CN201410137408.3

公布日：2015-07-22

申请人：班杜拉·维杰伊

腔室结构纸塑翻转传送装置

专利号：CN201920700222.2

公布日：2020-06-05

申请人：宜兴市新天地包装制品有限公司

一种蓄电池极板涂片装置

专利号：CN202010245376.4

公布日：2020-06-23

申请人：台州市椒江南屯电子有限公司

物理气相沉积主机台的传送腔

专利号：CN201020584379.2

公布日：2011-11-30

申请人：武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

多腔室晶圆处理设备

专利号：CN201821265863.1

公布日：2019-03-29

申请人：德淮半导体有限公司

一种传送基板的系统及方法

专利号：CN201110204942.8

公布日：2012-08-29

申请人：北京京东方光电科技有限公司

传送机器人和具有上述传送机器人的基板处理装置

专利号：CN202010587593.1

公布日：2020-12-29

申请人：细美事有限公司

晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置

专利号：CN202110943242.4

公布日：2021-11-16

申请人：长鑫存储技术有限公司