光刻胶

专利号：CN201910372874.2

公布日：2020-07-10

申请人：深圳市华星光电技术有限公司

一种光刻胶涂布系统及方法

专利号：CN201711392363.4

公布日：2018-04-20

申请人：上海华力微电子有限公司

修正光刻胶图形误差的方法

专利号：CN200810113982.X

公布日：2009-12-02

申请人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

一种具有多重过滤能力的光刻胶输送系统

专利号：CN201811408987.5

公布日：2019-01-22

申请人：上海华力微电子有限公司

光刻胶更换方法及系统和光刻胶管理方法及系统

专利号：CN202110583599.6

公布日：2021-08-10

申请人：上海积塔半导体有限公司

双重光刻胶及其处理方法

专利号：CN201210101344.2

公布日：2013-10-23

申请人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置

专利号：CN201210439549.1

公布日：2016-11-30

申请人：沈阳芯源微电子设备有限公司

一种光刻胶提示装置及提示方法

专利号：CN202310530732.0

公布日：2023-08-29

申请人：上海众鸿半导体设备有限公司

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法

专利号：CN202010752075.0

公布日：2022-02-18

申请人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司

应用于光刻胶收集杯的光刻胶清洗装置和清洗方法

专利号：CN201711173572.X

公布日：2019-05-28

申请人：长鑫存储技术有限公司

光刻胶去除工艺的测试方法

专利号：CN201711305598.5

公布日：2021-04-27

申请人：绍兴奥美电子科技有限公司

一种Array板光刻胶的剥离方法

专利号：CN201210290702.9

公布日：2012-11-14

申请人：信利半导体有限公司

光栅制作方法

专利号：CN201711323285.2

公布日：2021-06-11

申请人：郑君雄

光刻胶沉积设备以及使用该设备形成光刻胶薄膜的方法

专利号：CN02150649.3

公布日：2004-06-02

申请人：阿泰技术有限公社;朴韩守

半导体结构及其制造方法

专利号：CN202310046118.7

公布日：2023-05-09

申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司