电子级六氯乙硅烷萃取提纯的方法及萃取精馏系统

专利号：CN201810182085.8

公布日：2021-05-07

申请人：李金金

电子级六氯乙硅烷及其制备方法和应用

专利号：CN202211313645.1

公布日：2023-10-24

申请人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司

生产六氯乙硅烷的方法

专利号：CN01803007.6

公布日：2003-01-22

申请人：三菱综合材料多晶硅股份有限公司

一种六氯乙硅烷提纯装置及方法

专利号：CN202011490070.1

公布日：2022-06-28

申请人：亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司

一种六氯乙硅烷及其制备方法

专利号：CN202310967967.6

公布日：2023-10-10

申请人：铜陵安德科铭电子材料科技有限公司

一种六氯乙硅烷的纯化方法

专利号：CN201810130665.2

公布日：2019-06-28

申请人：浙江博瑞电子科技有限公司

六氯乙硅烷的回收方法及用于该方法的设备

专利号：CN200980158582.3

公布日：2012-02-29

申请人：电气化学工业株式会社

生产硅烷、一氯硅烷、二氯硅烷和六氯乙硅烷的系统

专利号：CN202011623031.4

公布日：2022-09-20

申请人：内蒙古兴洋科技股份有限公司

六氯乙硅烷机台及其保养维护方法

专利号：CN201410141318.1

公布日：2014-10-01

申请人：上海华力微电子有限公司

从六氯乙硅烷中除去钛的方法

专利号：CN200980139298.1

公布日：2011-08-31

申请人：瓦克化学股份公司

一种制备高纯度六氯乙硅烷的工艺

专利号：CN202010438643.X

公布日：2022-07-15

申请人：湖北晶星科技股份有限公司

一种分离提纯六氯乙硅烷的系统和方法

专利号：CN202011619534.4

公布日：2022-10-21

申请人：内蒙古兴洋科技股份有限公司

制备高纯度六氯乙硅烷的方法

专利号：CN200880108573.9

公布日：2010-08-25

申请人：瓦克化学股份公司

一种多晶硅副产低聚氯硅烷中六氯二硅烷的分离方法

专利号：CN202211413444.9

公布日：2023-05-12

申请人：石河子大学

连续式氯硅烷残液回收处理装置及方法

专利号：CN201310059359.1

公布日：2013-05-22

申请人：天津大学