化学铜清洗液过滤循环装置

专利号：CN201620506210.2

公布日：2016-12-07

申请人：昆山沪利微电有限公司

一种经济环保型化学沉铜液的制备方法

专利号：CN202210815669.0

公布日：2022-11-01

申请人：常州海弘电子有限公司

一种采用预接触功能的化学沉铜方法及其应用装置

专利号：CN201610124956.1

公布日：2018-12-04

申请人：东莞美维电路有限公司

一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法

专利号：CN201310319470.X

公布日：2015-02-11

申请人：安集微电子（上海）有限公司

一种处理铜/铜阻挡层抛光液的废液的方法

专利号：CN201210441948.1

公布日：2014-05-21

申请人：安集微电子（上海）有限公司

半导体结构及其形成方法

专利号：CN201710451766.5

公布日：2019-01-04

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司

一种化学沉铜液的组成及其制备方法

专利号：CN200810067146.2

公布日：2009-11-18

申请人：深圳市迪凯鑫科技有限公司

化学镀材料及其制备方法

专利号：CN200810147222.0

公布日：2010-02-24

申请人：比亚迪股份有限公司

在半导体器件中形成铜布线的方法

专利号：CN200910143122.5

公布日：2010-08-18

申请人：海力士半导体有限公司

一种用于光谱分析和化学分析的纯铜标准样品及制备方法

专利号：CN201310489178.2

公布日：2014-01-22

申请人：东北大学

一种化学铜自动添加装置

专利号：CN202122145334.6

公布日：2021-12-24

申请人：深圳市正天伟科技有限公司

一种PTFE材料PCB电银工艺

专利号：CN202210986849.5

公布日：2022-11-18

申请人：惠州市三强线路有限公司

化学沉铜废液中铜的回收再利用系统

专利号：CN201020112247.X

公布日：2010-07-14

申请人：深圳市迈瑞特电路科技有限公司

一种铜载体上纳米铜涂层的原位电化学制备方法

专利号：CN201810105733.X

公布日：2018-08-28

申请人：沈阳建筑大学

一种化学机械抛光液及其在铜抛光中的应用

专利号：CN201911402367.5

公布日：2021-07-16

申请人：安集微电子（上海）有限公司