低驱动电压阶梯型微悬臂梁结构优化设计方法与系统

专利号：CN201510454903.1

公布日：2018-03-30

申请人：工业和信息化部电子第五研究所

一种称量DNA分子质量的微悬臂梁装置

专利号：CN201610411763.4

公布日：2016-08-31

申请人：常州大学

一种高灵敏度微型氢气传感器及其制备方法

专利号：CN201911273794.8

公布日：2021-05-07

申请人：上海交通大学

一种微悬臂梁传感器的共振激发方法

专利号：CN201210104927.0

公布日：2012-08-01

申请人：山东大学

基于纳米抗体的微悬臂梁免疫传感方法

专利号：CN202110434147.1

公布日：2021-10-19

申请人：中国科学技术大学

基于微悬臂梁的土壤湿度监测方法、装置、设备及介质

专利号：CN201911391153.2

公布日：2020-04-28

申请人：武汉市陆刻科技有限公司

静电驱动阶梯型微悬臂梁结构评价方法与系统

专利号：CN201510451909.3

公布日：2015-12-02

申请人：工业和信息化部电子第五研究所

基于镂空微悬臂梁的光学传声器及传声系统

专利号：CN202310410110.4

公布日：2023-07-11

申请人：郑州大学

内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法及一种检测方法

专利号：CN201910035090.0

公布日：2019-06-14

申请人：江苏大学

柔性压阻式微悬臂梁传感器及其制作方法

专利号：CN201810361327.X

公布日：2018-09-28

申请人：北京大学

平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法

专利号：CN201110072710.1

公布日：2012-09-26

申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所

内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法

专利号：CN201910036305.0

公布日：2019-06-18

申请人：江苏大学

双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器以及探测方法

专利号：CN201210371261.5

公布日：2013-01-16

申请人：姜利军

双材料微悬臂梁、电磁辐射探测器

专利号：CN201220505673.9

公布日：2013-05-08

申请人：姜利军

一种二维纳米尺度光子晶体力传感器

专利号：CN201410074823.9

公布日：2014-06-04

申请人：哈尔滨工业大学