微机电系统芯片晶圆及系统封装方法、以及微机电系统

专利号：CN201710404995.1

公布日：2018-12-11

申请人：北京万应科技有限公司

微机电变焦镜头模块及其微机电制动器

专利号：CN201510047983.9

公布日：2016-10-05

申请人：及至微机电股份有限公司

微机电变焦镜头模块及其微机电制动器

专利号：CN201520066123.5

公布日：2015-07-01

申请人：及至微机电股份有限公司

一种微机电可动式镜头模块及其微机电制动器

专利号：CN201711357971.1

公布日：2019-06-25

申请人：杜东梅

一种电变焦镜头模块及其电制动器

专利号：CN201711003449.3

公布日：2019-04-30

申请人：随州职业技术学院

一种微机电制动器

专利号：CN201711343198.3

公布日：2019-07-02

申请人：杜东梅

微机电可动式镜头模块及其微机电制动器

专利号：CN201510041222.2

公布日：2016-10-05

申请人：及至微机电股份有限公司

微机电可动式镜头模块及其微机电制动器

专利号：CN201520056391.9

公布日：2015-07-01

申请人：及至微机电股份有限公司

温度补偿微机电振荡器

专利号：CN201410095280.9

公布日：2017-11-28

申请人：加高电子股份有限公司

一种PT对称侧动微机电系统

专利号：CN202010503760.X

公布日：2023-01-17

申请人：东南大学

微机电陀螺系统及其控制方法

专利号：CN201310465392.4

公布日：2015-04-15

申请人：杭州士兰微电子股份有限公司

微机电系统装置的制造方法、微机电系统装置和电子设备

专利号：CN202111315844.1

公布日：2022-03-08

申请人：歌尔微电子股份有限公司

微机电泵模块

专利号：CN201910067160.0

公布日：2022-02-11

申请人：研能科技股份有限公司

微机电泵模块

专利号：CN201920120801.X

公布日：2019-12-03

申请人：研能科技股份有限公司

微机电系统及其封装方法

专利号：CN200810301221.7

公布日：2009-10-28

申请人：鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司