提高抛光液循环利用率的方法及硅片抛光方法

专利号：CN202110910821.9

公布日：2022-07-12

申请人：万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司

超声控制的剪切增稠抛光装置

专利号：CN201420457478.2

公布日：2015-01-28

申请人：浙江工业大学

一种蓝宝石介电泳抛光机用抛光液添加装置

专利号：CN202110765327.8

公布日：2022-07-05

申请人：杭州科技职业技术学院;浙江工业大学

一种便于控制抛光盘温度的化学机械抛光机

专利号：CN201922202944.8

公布日：2020-08-07

申请人：北京微纳精密机械有限公司

一种不锈钢制品抛光打磨装置

专利号：CN202311104069.4

公布日：2023-10-20

申请人：南通宇一机械设备有限公司

力流变抛光液温度调控系统及方法

专利号：CN202011469499.2

公布日：2021-04-09

申请人：新昌浙江工业大学科学技术研究院;杭州智谷精工有限公司

一种飞轮湿式除尘抛光装置及其抛光工艺

专利号：CN202211615327.0

公布日：2023-03-21

申请人：常州市良久机械制造有限公司

一种抛光复合机床及抛光方法

专利号：CN201610306546.9

公布日：2018-01-12

申请人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

一种可循环使用抛光液的液体抛光机

专利号：CN202121626647.7

公布日：2022-03-04

申请人：普菲乐机械科技（昆山）有限公司

一种应用于智能等离子抛光设备的抛光液自动循环机构

专利号：CN201721254819.6

公布日：2018-04-10

申请人：哈工大机器人（合肥）国际创新研究院

基于非牛顿流体剪切增稠机理的孔内壁抛光装置

专利号：CN201510489786.2

公布日：2015-11-11

申请人：浙江工业大学

基于非牛顿流体剪切增稠机理的孔内壁抛光装置

专利号：CN201520598800.8

公布日：2016-03-02

申请人：浙江工业大学

一种合金铜排生产用抛光机

专利号：CN201822077453.0

公布日：2019-07-19

申请人：江西坤元金属材料有限公司

一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统及调控方法

专利号：CN202211674206.3

公布日：2023-04-07

申请人：常州皓研智能科技有限公司

一种EDI系统水质循环调节装置

专利号：CN202122400122.8

公布日：2022-03-08

申请人：武汉凯通环保科技有限公司