阀门电动装置控制腔与接线腔结构

专利号：CN200620151639.0

公布日：2007-12-19

申请人：天津百利二通机械有限公司

管腔控制导管

专利号：CN201880069855.6

公布日：2020-06-12

申请人：圣犹达医疗用品心脏病学部门有限公司

激光腔温度控制装置

专利号：CN200820213353.X

公布日：2009-10-14

申请人：深圳市大族激光科技股份有限公司

下腔控制器

专利号：CN89203437.8

公布日：1989-10-18

申请人：昆明陆军第五十七医院

工艺腔、工艺腔的加热控制方法及装置

专利号：CN201810367695.5

公布日：2018-08-07

申请人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司

腔室的内压控制装置和内压被控制式腔室

专利号：CN200480029178.3

公布日：2006-11-15

申请人：株式会社富士金;大见忠弘

排气系统双腔控制装置

专利号：CN201510963155.X

公布日：2016-03-23

申请人：上海佑热高温材料有限公司

电烤箱控制腔隔热结构

专利号：CN201610701849.0

公布日：2016-11-16

申请人：无锡嘉鼎机械科技有限公司

分腔散热控制器

专利号：CN201611061653.6

公布日：2018-06-05

申请人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司

工艺腔室压力控制装置

专利号：CN202010778501.8

公布日：2020-11-03

申请人：北京七星华创流量计有限公司

测试腔室及其控制方法

专利号：CN202110129560.7

公布日：2021-08-20

申请人：伟思环境技术有限公司

双腔制动控制阀

专利号：CN202011151616.0

公布日：2022-04-22

申请人：樊欣钰

腔室环境的控制方法

专利号：CN200910084869.8

公布日：2010-11-24

申请人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

腔室的压力控制方法

专利号：CN201210134283.X

公布日：2012-08-22

申请人：中微半导体设备（上海）有限公司

刮刀腔切换式控制装置

专利号：CN201620622825.1

公布日：2016-11-09

申请人：上海鼎龙机械有限公司