支撑单元

专利号：CN202310883434.X

公布日：2023-10-20

申请人：美律电子（深圳）有限公司

支撑单元

专利号：CN201680039337.0

公布日：2020-07-24

申请人：塞夫霍兰德有限公司

支撑单元

专利号：CN201921740699.X

公布日：2021-03-05

申请人：豪通投资有限公司

支撑装置、支撑单元系统及支撑单元控制系统

专利号：CN201610008233.5

公布日：2019-09-03

申请人：财团法人工业技术研究院

支撑单元及支撑装置

专利号：CN202222437441.0

公布日：2023-01-06

申请人：安徽光智科技有限公司

基板支撑用支撑单元

专利号：CN201280017748.1

公布日：2013-12-25

申请人：泰拉半导体株式会社

基板支撑单元

专利号：CN202210197770.4

公布日：2022-06-24

申请人：ASM IP私人控股有限公司

基板支撑单元

专利号：CN202211685022.7

公布日：2023-07-04

申请人：TES股份有限公司

柔性支撑单元

专利号：CN201010547182.6

公布日：2011-05-11

申请人：安徽巨一自动化装备有限公司

基板支撑单元

专利号：CN201910330674.0

公布日：2023-09-05

申请人：PSK控股公司;塞米吉尔公司

支撑单元座

专利号：CN201520846297.3

公布日：2016-03-09

申请人：苏州爱康金属科技有限公司

柔性支撑单元

专利号：CN201020610352.6

公布日：2011-07-20

申请人：安徽巨一自动化装备有限公司

头部支撑组件及支撑单元

专利号：CN201980039297.3

公布日：2023-01-24

申请人：海德欧维森有限公司

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置

专利号：CN201811360555.1

公布日：2019-05-24

申请人：细美事有限公司

支撑单元和包括该支撑单元的基板处理装置

专利号：CN202110837199.3

公布日：2022-01-25

申请人：细美事有限公司