一种晶圆载具的搬送方法、系统、装置、设备及介质

专利号：CN202310639564.9

公布日：2023-08-29

申请人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司

基板搬送处理装置和基板搬送处理装置的故障对策方法以及基板搬送处理装置的故障对策程序

专利号：CN200680002609.6

公布日：2008-01-16

申请人：东京毅力科创株式会社

一种用于搬送晶圆的组件及方法

专利号：CN202010839837.0

公布日：2020-11-20

申请人：西安奕斯伟硅片技术有限公司

晶圆搬送装置、故障救援系统及故障救援方法

专利号：CN201910595955.9

公布日：2021-01-05

申请人：长鑫存储技术有限公司

晶圆搬送装置、故障救援系统

专利号：CN201921030655.8

公布日：2020-04-07

申请人：长鑫存储技术有限公司

衬底处理装置及衬底处理装置的控制方法

专利号：CN201910757476.2

公布日：2020-03-31

申请人：株式会社斯库林集团

一种芯片绑定机自动更换晶圆盒装置

专利号：CN201710331003.7

公布日：2017-09-15

申请人：大连佳峰自动化股份有限公司

基板处理装置和基板搬送方法

专利号：CN201710828334.1

公布日：2021-09-03

申请人：东京毅力科创株式会社

一种自动晶圆搬送机及搬送方法

专利号：CN201710119260.4

公布日：2019-05-03

申请人：泉州市憬承光电科技有限公司

晶圆搬送单元及晶圆搬送方法

专利号：CN202080094175.7

公布日：2022-09-06

申请人：浜松光子学株式会社

半导体制造装置

专利号：CN202110942155.7

公布日：2022-04-22

申请人：铠侠股份有限公司

装载埠以及晶圆搬送方法

专利号：CN201780047185.3

公布日：2023-07-18

申请人：信越半导体株式会社

一种快速热退火机台搬送装置

专利号：CN201420134663.8

公布日：2014-08-13

申请人：上海华力微电子有限公司

顶棚搬送车、教学单元、以及顶棚搬送车中的移载位置学习方法

专利号：CN202110550163.7

公布日：2021-11-30

申请人：株式会社大福

基板搬送装置和基板搬送方法

专利号：CN201810291068.8

公布日：2022-03-15

申请人：东京毅力科创株式会社