一种自适应束流的核孔膜自动生产装置及方法

专利号：CN202010528511.6

公布日：2022-01-28

申请人：中国科学院近代物理研究所

一种蜂窝式束流均匀性检测装置

专利号：CN201110241142.3

公布日：2013-03-06

申请人：北京中科信电子装备有限公司

生物样品辐照控制装置

专利号：CN96224338.8

公布日：1998-02-04

申请人：中国科学院近代物理研究所

一种离子注入机束流状态侦测方法、装置、设备及介质

专利号：CN202210904799.1

公布日：2023-01-17

申请人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司

一种离子注入机束流平行度测量方法

专利号：CN202111660455.2

公布日：2023-07-11

申请人：北京烁科中科信电子装备有限公司

一种硬岩隧道掘进机及其刀盘

专利号：CN201911301680.X

公布日：2021-09-10

申请人：中国铁建重工集团股份有限公司

一种大角度离子注入机快速调束的优化算法

专利号：CN201010243066.5

公布日：2012-02-08

申请人：北京中科信电子装备有限公司

一种用于电子束精密调控的多级偏压电源

专利号：CN202211294940.7

公布日：2023-01-31

申请人：星航高能科技（南京）有限公司;南京晟源企业管理合伙企业（有限合伙）

一种多通道束流选择与采集系统

专利号：CN201510710334.2

公布日：2017-05-10

申请人：北京中科信电子装备有限公司

一种静电场加速的高能离子注入机的高压防护及射线屏蔽系统

专利号：CN201510804022.8

公布日：2016-03-30

申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所

一种宽束离子注入机均匀性调节装置

专利号：CN201410475060.9

公布日：2014-12-10

申请人：北京中科信电子装备有限公司

离子注入机束流均匀性的监控方法

专利号：CN201711241753.1

公布日：2018-05-18

申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司

离子植入机以及监测离子植入机中离子束的方法

专利号：CN201910324810.5

公布日：2019-07-26

申请人：德淮半导体有限公司

一种高分辨宽束离子注入机均匀性调节装置

专利号：CN201410645011.5

公布日：2016-05-11

申请人：北京中科信电子装备有限公司

棉束供给系统

专利号：CN200680031113.1

公布日：2008-08-20

申请人：里特机械公司