洗净装置以及洗净方法

专利号：CN201080020516.2

公布日：2012-04-18

申请人：村田机械株式会社

洗净装置及洗净方法

专利号：CN02814099.0

公布日：2004-09-08

申请人：夏普株式会社;夏普工业控制系统株式会社

采用洗净剂的洗净方法

专利号：CN94104357.6

公布日：1999-03-03

申请人：东芝硅株式会社

洗净方法及此洗净方法所使用的洗净装置

专利号：CN201710066451.9

公布日：2017-08-22

申请人：光洋机械产业株式会社

洗净材料制造方法、洗净材料制造装置和洗净系统

专利号：CN200510005734.X

公布日：2005-12-21

申请人：太阳日酸株式会社

逆渗透膜的洗净剂、洗净液及洗净方法

专利号：CN201580054150.3

公布日：2019-01-22

申请人：栗田工业株式会社

洗净水生成装置、食品洗净装置及食品洗净系统

专利号：CN201480073752.9

公布日：2020-06-12

申请人：大和房屋工业株式会社

反渗透膜用洗净剂、洗净液及洗净方法

专利号：CN201680039616.7

公布日：2021-03-26

申请人：栗田工业株式会社

反渗透膜用洗净剂、洗净液以及洗净方法

专利号：CN201680042882.5

公布日：2018-03-27

申请人：栗田工业株式会社

衬底洗净装置及衬底洗净方法

专利号：CN202111571492.6

公布日：2022-07-01

申请人：株式会社斯库林集团

衬底洗净装置及衬底洗净方法

专利号：CN202210659023.8

公布日：2022-12-13

申请人：株式会社斯库林集团

衬底洗净装置及衬底洗净方法

专利号：CN202210719627.7

公布日：2022-12-23

申请人：株式会社斯库林集团

衬底洗净装置及衬底洗净方法

专利号：CN202210773648.7

公布日：2023-01-10

申请人：株式会社斯库林集团

基板洗净方法和基板洗净装置

专利号：CN200910128635.9

公布日：2009-10-07

申请人：东京毅力科创株式会社

基板洗净方法和基板洗净装置

专利号：CN201210156325.X

公布日：2012-09-05

申请人：东京毅力科创株式会社