高温度均匀性烤箱

专利号：CN201820592487.0

公布日：2018-11-27

申请人：昆山捷翔工业设备有限公司

热板温度均匀性测试方法

专利号：CN201010578121.6

公布日：2012-07-11

申请人：无锡华润上华科技有限公司

温度均匀性测试台

专利号：CN200920251072.8

公布日：2010-08-18

申请人：中国电子科技集团公司第十八研究所

监测基座温度均匀性的方法

专利号：CN201510900577.2

公布日：2019-10-25

申请人：上海新昇半导体科技有限公司

监测基座温度均匀性的方法

专利号：CN201510901208.5

公布日：2019-09-17

申请人：上海新昇半导体科技有限公司

提高衬底温度均匀性的外延托盘

专利号：CN202210128580.7

公布日：2022-07-01

申请人：华灿光电（浙江）有限公司

一种温度均匀性检测装置

专利号：CN201721833120.5

公布日：2018-09-07

申请人：北京创昱科技有限公司

吸盘表面温度均匀性检测装置

专利号：CN201621164120.6

公布日：2017-05-24

申请人：杭州长川科技股份有限公司

直插式温度均匀性测量系统

专利号：CN201720452939.0

公布日：2017-12-01

申请人：上海汇森益发工业炉有限公司

用于改善工件温度均匀性的设备

专利号：CN201580062884.6

公布日：2017-08-18

申请人：瓦里安半导体设备公司

具有改良温度均匀性的加热平台

专利号：CN201580008264.4

公布日：2019-03-01

申请人：瓦里安半导体设备公司

具有改善温度均匀性的空间晶片处理

专利号：CN201980069660.6

公布日：2021-06-08

申请人：应用材料公司

加热炉物料温度均匀性测量装置

专利号：CN201420813243.2

公布日：2015-06-24

申请人：宝钢工业炉工程技术有限公司

一种温度均匀性液冷冷板

专利号：CN201520788037.5

公布日：2016-01-20

申请人：新乡市特美特换热设备有限公司

控制衬底温度均匀性的装置和方法

专利号：CN01819511.3

公布日：2005-04-20

申请人：埃姆科尔股份有限公司