具有直接出口环状等离子体源的等离子体处理系统

专利号：CN201580066116.8

公布日：2020-07-31

申请人：应用材料公司

直接出口环状等离子体源

专利号：CN201580066237.2

公布日：2021-05-04

申请人：应用材料公司

低压下产生等离子体反应器闭合回路的方法和系统

专利号：CN201980077399.4

公布日：2023-05-05

申请人：氮气应用公司

利用二次等离子体注入的等离子体蚀刻系统及方法

专利号：CN201610724716.5

公布日：2020-03-17

申请人：应用材料公司

用于等离子体处理的装置和等离子体处理腔室

专利号：CN201620945537.X

公布日：2017-06-06

申请人：应用材料公司

一种基于等离子体电离质谱技术的微塑料原位检测方法

专利号：CN202110795980.9

公布日：2021-10-26

申请人：上海大学

有效减少等离子体处理室中气体停留时间的方法和装置

专利号：CN201380016008.0

公布日：2017-05-17

申请人：朗姆研究公司

一种水煤浆及其制备方法

专利号：CN201010101350.9

公布日：2010-06-23

申请人：浙江大学

一种用于研究等离子体-小分子体系反应的质谱装置

专利号：CN201410787348.X

公布日：2018-06-26

申请人：中国科学院大连化学物理研究所

一种低温等离子体催化装置

专利号：CN202010443188.2

公布日：2021-03-26

申请人：上海大学

等离子体发生装置

专利号：CN200810009903.0

公布日：2008-08-13

申请人：SE等离子株式会社

大气压介质阻挡放电等离子体活性产物测量装置和方法

专利号：CN202111665970.X

公布日：2022-04-05

申请人：中国人民解放军战略支援部队航天工程大学

高温反应器系统及用于在其中生产产物的方法

专利号：CN201280066599.8

公布日：2014-09-10

申请人：先进磁工艺股份有限公司

一种光增强等离子体空气净化装置和方法

专利号：CN201710169742.0

公布日：2018-10-09

申请人：区诗婷

一种有毒有害废气的低温等离子体-生物法组合工艺处理方法

专利号：CN201210235690.X

公布日：2012-12-26

申请人：中山大学