一种矩形截面铜杆抛光设备

专利号：CN201920616301.5

公布日：2020-02-14

申请人：安徽新华学院

抛光混合物和减少硅晶片中的铜混入的方法

专利号：CN00810546.4

公布日：2002-07-31

申请人：MEMC电子材料有限公司

一种铜铝管焊接抛光装置

专利号：CN202222005869.8

公布日：2023-03-28

申请人：芜湖市永大制冷配件有限责任公司

一种电解铜高精度镜面抛光方法

专利号：CN202110615267.1

公布日：2021-08-24

申请人：清远市进田企业有限公司

一种铜导电棒的抛光装置

专利号：CN201120236212.1

公布日：2012-03-28

申请人：湖南华洋铜业股份有限公司

一种化学机械抛光液及其在铜抛光中的应用

专利号：CN201911402367.5

公布日：2021-07-16

申请人：安集微电子（上海）有限公司

硅通孔的抛光方法

专利号：CN201310365548.1

公布日：2019-12-27

申请人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

一种抛光磨棒及其抛光工艺

专利号：CN201811519641.2

公布日：2020-06-16

申请人：蓝思科技（长沙）有限公司

一种铜杆抛光装置

专利号：CN202022465113.2

公布日：2021-06-08

申请人：丰城市利华金属制品有限公司

一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺

专利号：CN201210584552.2

公布日：2014-07-02

申请人：安集微电子（上海）有限公司

一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺

专利号：CN201210584545.2

公布日：2018-10-26

申请人：安集微电子（上海）有限公司

一种真空熔炼速凝炉水冷铜棍自动抛光装置

专利号：CN201310301992.7

公布日：2013-12-04

申请人：洛阳八佳电气科技股份有限公司

一种真空熔炼速凝炉水冷铜棍自动抛光装置

专利号：CN201320427761.6

公布日：2014-03-05

申请人：洛阳八佳电气科技股份有限公司

一种用于侧复式银铜复合带电解抛光的抛光液、电解抛光方法

专利号：CN202210010381.6

公布日：2023-05-09

申请人：郑州机械研究所有限公司

一种用于铜互连的化学机械抛光液及工艺

专利号：CN201410840226.2

公布日：2016-07-27

申请人：安集微电子（上海）有限公司