搜索结果（共计：793089条）
专利号：CN201610256874.2
公布日：2020-12-08
申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
专利号：CN201821674797.3
公布日：2019-08-30
申请人：深圳市奥拓电子股份有限公司
专利号：CN202111640705.6
公布日：2022-05-13
申请人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
专利号：CN201910652429.1
公布日：2022-02-22
申请人：重庆源联信息科技有限公司
专利号：CN202310225486.8
公布日：2023-06-02
申请人：三微电子科技（苏州）有限公司
专利号：CN201110409326.6
公布日：2013-06-19
申请人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号：CN202111160966.8
公布日：2022-01-11
申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
专利号：CN202123390838.0
公布日：2022-06-17
申请人：深圳市恒运昌真空技术有限公司
专利号：CN201110165188.1
公布日：2012-02-15
申请人：上海华为技术有限公司
专利号：CN201210110740.1
公布日：2013-10-30
申请人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
专利号：CN201110204632.6
公布日：2012-03-28
申请人：LG伊诺特有限公司
专利号：CN201080062936.7
公布日：2012-10-17
申请人：株式会社普来马特
专利号：CN201410216819.1
公布日：2018-05-25
申请人：北京北方华创微电子装备有限公司
专利号：CN201510079620.3
公布日：2015-05-27
申请人：深圳市大疆创新科技有限公司
专利号：CN201110301153.6
公布日：2013-04-03
申请人：中国科学院微电子研究所