形面测量方法

专利号：CN201910164678.6

公布日：2019-06-21

申请人：重庆零壹空间航天科技有限公司

晶圆面形测量系统及基于晶圆面形测量系统的测量方法

专利号：CN202310284184.8

公布日：2023-08-29

申请人：浙江求是半导体设备有限公司

一种光学元件表面局部陡度面形误差干涉测量方法及装置

专利号：CN202010757803.7

公布日：2021-07-16

申请人：北京理工大学;中国人民解放军国防科技大学

一种基于互相关的评价面形测量方法有效性的方法

专利号：CN201910747167.7

公布日：2020-06-16

申请人：北京理工大学

机械式段差平行差尺

专利号：CN202020513166.4

公布日：2020-11-17

申请人：一汽解放汽车有限公司

一种用于真空环境下测量光学元件面形的装置及方法

专利号：CN202110573545.1

公布日：2022-08-05

申请人：华中科技大学

用于光刻机设备测量组件的测量方法、装置及光刻机

专利号：CN202010762680.6

公布日：2022-12-09

申请人：上海微电子装备（集团）股份有限公司

基于阿贝原则和布莱恩原则的晶圆面形预测模型建立方法

专利号：CN202211131563.5

公布日：2023-04-25

申请人：大连理工大学

低温面形摄影测量方法

专利号：CN201510599033.7

公布日：2017-12-12

申请人：中国科学院紫金山天文台;北京普达迪泰科技有限公司

一种用于自由面形子孔径拼接测量的方法和系统

专利号：CN201810120273.8

公布日：2019-11-05

申请人：四川大学

一种Kinect与条纹反射法结合的类镜面三维面形测量方法

专利号：CN201710048699.2

公布日：2019-04-12

申请人：南昌航空大学

大口径平面光学元件在位面形拼接测量装置及方法

专利号：CN202011537846.0

公布日：2021-11-16

申请人：中国科学院西安光学精密机械研究所

基于轴向扫描的锥镜面形检测系统及检测方法

专利号：CN201810180567.X

公布日：2019-12-20

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所

一种汽车零部件曲面位置度的检测工装

专利号：CN201920113070.6

公布日：2019-08-23

申请人：东风（武汉）汽车零部件有限公司

一种自由曲面检测方法及系统

专利号：CN201710635739.3

公布日：2019-09-10

申请人：中国计量大学