半导体设备

专利号：CN201720062496.4

公布日：2017-07-28

申请人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

一种进气装置、反应腔室以及等离子体加工设备

专利号：CN201210094362.2

公布日：2013-10-23

申请人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

一种化学气相沉积系统

专利号：CN201710188533.0

公布日：2020-01-03

申请人：中国科学技术大学

三重气流金属有机物化学气相沉积设备反应腔体

专利号：CN200720073747.5

公布日：2008-08-13

申请人：甘志银

一种化学气相沉积炉

专利号：CN202222429437.X

公布日：2023-01-24

申请人：湖南泰坦未来科技有限公司

一种化学气相沉积系统

专利号：CN201720306140.0

公布日：2017-11-03

申请人：中国科学技术大学

一种金刚石生长设备的气路控制系统及方法

专利号：CN202310925857.3

公布日：2023-08-22

申请人：深圳优普莱等离子体技术有限公司

一种化学气相沉积装置

专利号：CN202110372818.6

公布日：2023-09-01

申请人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司

一种射流反应器

专利号：CN202221013852.0

公布日：2022-10-18

申请人：辽阳华路催化技术研发有限公司

一种低温脱硝反应器

专利号：CN201520073050.2

公布日：2015-07-22

申请人：浙江海亮环境材料有限公司

一种侧面进气的成膜装置

专利号：CN202223233787.5

公布日：2023-04-14

申请人：宁波恒普真空科技股份有限公司

一种反应釜废气置换装置

专利号：CN202121766291.7

公布日：2022-03-11

申请人：河南昌祥弘精细工贸有限公司

一种酒精反应釜用氢气进气管结构

专利号：CN201821665230.X

公布日：2019-05-21

申请人：乳山市日晟机械制造有限公司

一种适用于气体强化浸出的反应器

专利号：CN202022479443.7

公布日：2021-09-10

申请人：湖南邦普循环科技有限公司;广东邦普循环科技有限公司;湖南邦普汽车循环有限公司

炉管和向炉管内通入反应气体的方法

专利号：CN201910822049.8

公布日：2021-03-05

申请人：长鑫存储技术有限公司