搜索结果（共计：3597430条）
专利号：CN201880026835.0
公布日：2022-04-26
申请人：东京毅力科创株式会社
专利号：CN202223189413.8
公布日：2023-05-02
申请人：深圳博升光电科技有限公司
专利号：CN202010511151.9
公布日：2020-12-18
申请人：东京毅力科创株式会社
专利号：CN201811183958.3
公布日：2020-08-28
申请人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
专利号：CN99102225.4
公布日：1999-09-01
申请人：夏普公司
专利号：CN200410043527.9
公布日：2004-11-24
申请人：夏普公司
专利号：CN202110691128.7
公布日：2022-01-14
申请人：东京毅力科创株式会社
专利号：CN202210453230.8
公布日：2023-06-16
申请人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
专利号：CN201810116963.6
公布日：2018-08-17
申请人：东京毅力科创株式会社
专利号：CN96101239.0
公布日：2002-11-06
申请人：日本碍子株式会社
专利号：CN200810166711.0
公布日：2009-03-11
申请人：株式会社荏原制作所
专利号：CN200480022684.X
公布日：2006-09-13
申请人：株式会社荏原制作所
专利号：CN202110482822.8
公布日：2021-11-12
申请人：东京毅力科创株式会社
专利号：CN02820884.6
公布日：2005-02-02
申请人：伊来克格拉斯有限公司
专利号：CN200410082294.3
公布日：2005-09-21
申请人：应用材料有限公司