一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法

专利号：CN201910812967.2

公布日：2019-11-15

申请人：天津大学

一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统

专利号：CN201921423004.5

公布日：2020-04-17

申请人：天津大学

一种光程倍增的激光干涉仪用检定装置

专利号：CN202021247831.6

公布日：2021-03-16

申请人：天津市计量监督检测科学研究院

一种基于干涉光路设计的水导脉冲激光加工系统及方法

专利号：CN202111144558.3

公布日：2022-06-14

申请人：武汉大学

激光干涉光刻中的曝光光束相位测量方法和光刻系统

专利号：CN201911050178.6

公布日：2020-10-13

申请人：清华大学;北京华卓精科科技股份有限公司

一种激光自混合干涉测量装置

专利号：CN202211584065.6

公布日：2023-05-16

申请人：南阳理工学院

一种激光干涉仪光路准直支撑装置

专利号：CN202021605863.9

公布日：2021-03-26

申请人：第一拖拉机股份有限公司

承物台、误差补偿测量装置及误差补偿方法

专利号：CN201110084179.X

公布日：2012-10-17

申请人：上海微电子装备有限公司

一种内置干涉镜的激光干涉仪

专利号：CN202120985686.X

公布日：2021-11-26

申请人：爱佩仪智能装备有限公司

一种切割机整机精度检测用激光干涉仪安装底座

专利号：CN202320334252.2

公布日：2023-08-01

申请人：马鞍山克林贝格机械刀片有限公司

一种双波长激光干涉仪

专利号：CN201922350286.7

公布日：2020-08-18

申请人：常州光波远见科技有限公司

飞秒激光脉冲完全重建系统和方法

专利号：CN201210315218.7

公布日：2013-02-20

申请人：中国科学技术大学

一种基于激光检测的3D打印精度监测装置

专利号：CN201710939166.3

公布日：2018-03-06

申请人：安溪县贤彩茶叶机械有限公司

一种基于激光检测的3D打印精度监测装置

专利号：CN201721303258.4

公布日：2018-07-06

申请人：安溪县贤彩茶叶机械有限公司

一种激光扫描频率带宽标定装置和标定方法

专利号：CN202110904239.1

公布日：2023-05-12

申请人：北京无线电计量测试研究所