碳化硅晶体生长装置、方法及碳化硅晶体

专利号：CN202310703657.3

公布日：2023-09-05

申请人：通威微电子有限公司

一种碳化硅晶体微管的愈合方法及碳化硅产品和应用

专利号：CN202010724063.7

公布日：2021-09-28

申请人：山东天岳先进科技股份有限公司

一种碳化硅晶体的制造方法及装置

专利号：CN202210100984.5

公布日：2022-05-13

申请人：北京青禾晶元半导体科技有限责任公司

一种降低晶体缺陷的碳化硅单晶制备方法

专利号：CN202010961239.0

公布日：2020-11-20

申请人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司

碳化硅质陶瓷以及蜂窝构造体

专利号：CN201180047346.1

公布日：2016-11-23

申请人：日本碍子株式会社

一种用于PVT法生长的碳化硅晶体的原料烧结工艺

专利号：CN201810466517.8

公布日：2018-10-09

申请人：福建北电新材料科技有限公司

一种快速生长高质量碳化硅的方法

专利号：CN202110880193.4

公布日：2022-07-26

申请人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司

一种提升PVT法制备碳化硅晶体生长速率的方法

专利号：CN202110276280.9

公布日：2021-06-25

申请人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司

碳化硅晶体的切割方法

专利号：CN202110646302.6

公布日：2021-09-03

申请人：河北同光晶体有限公司

碳化硅晶体生长坩埚及生长方法

专利号：CN202111361145.0

公布日：2022-02-18

申请人：宁波合盛新材料有限公司

用于碳化硅晶体高速生长的原料及碳化硅晶体的生长方法

专利号：CN201610018942.1

公布日：2018-02-27

申请人：台州市一能科技有限公司;星野政宏

一种有效降低碳化硅单晶缺陷的生长方法和高质量碳化硅单晶

专利号：CN201911380301.0

公布日：2021-04-16

申请人：北京天科合达半导体股份有限公司;北京天科合达新材料有限公司;江苏天科合达半导体有限公司;新疆天科合达蓝光半导体有限公司

一种碳化硅晶体的制备方法、碳化硅晶片、碳化硅衬底及半导体器件

专利号：CN202110683397.9

公布日：2021-10-01

申请人：广州爱思威科技股份有限公司

一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备

专利号：CN202023163810.9

公布日：2022-01-28

申请人：湖南三安半导体有限责任公司

一种复合碳化硅衬底及其制备方法

专利号：CN202210098073.3

公布日：2022-05-06

申请人：无锡华鑫检测技术有限公司