本发明公开了一种复合型的ALD导气装置,其包括平面台阶(1)和圆弧壁(2)组成的主体结构、导气孔阵列(3)以及抽气孔(4)。本发明通过对反应腔体抽气进行导气,改善反应腔气流分布,能够有效提升制备薄膜的均匀性;同时,利用复合结构,大幅度的节约了空间,在承载了导气功能的同时,也可作为腔体内样品架的支撑机构,实现了功能的复合化。
1.一种复合型的ALD导气装置,其特征在于,其包括平面台阶(1)和圆弧壁(2)组成的主体结构、导气孔阵列(3)以及抽气孔(4);其平面台阶(1),中间部分用于布置导气孔,两边平台用于腔体内安装样品架;其圆弧壁(2),其弧度与反应腔弧度相同,便于安装于反应腔内壁;其导气孔阵列(3),孔沿着垂直方向贯穿,孔径为1‑3mm,呈矩形均匀分布,孔间距为10mm‑50mm,与装置内部以及抽气孔连通,用于气体抽气过程中的导流,优化腔体气流分布;其抽气孔(4),与真空抽气管路相连,用于抽气,直径为30mm‑50mm。
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