[发明专利]一种坩埚及其加热控制方法、蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910147363.0 | 申请日： | 2019-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN109609914A | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 丁敏;高峰;王宝友;陈策;方刚 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 刘昕;南霆 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导热 坩埚 加热控制 蒸镀设备 坩埚本体 容纳腔 加热稳定性 受热 不均匀 均匀性 热传导 内层 蒸镀 加热 容纳 申请 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种坩埚，其特征在于，包括：
坩埚本体，所述坩埚本体具有双层导热部，所述双层导热部中位于外层的第一导热部与位于内层的第二导热部之间形成容纳腔。
2.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述第一导热部外壁设置有第一电热层，所述第二导热部内壁设置有第二电热层。
3.如权利要求2所述的坩埚，其特征在于，所述第一电热层和所述第二电热层为电阻丝，所述第一电热层和所述第二电热层交错分布。
4.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚本体上方且具有外凸形状的顶盖；
其中，所述顶盖的边缘与所述坩埚本体的第一导热部的顶端对接，所述顶盖的中心开口的内径小于所述坩埚本体的第二导热部的内径。
5.如权利要求1所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述坩埚本体下方的至少一个导轨；
其中，所述第一导热部的外壁设置的第一电热层的底部设置在第一导轨上，和/或，所述第二导热部的内壁设置的第二电热层的底部设置在第二导轨上。
6.如权利要求5所述的坩埚，其特征在于，还包括：驱动电机；
其中，所述驱动电机用于控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动，或者，
所述驱动电机用于控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动。
7.如权利要求6所述的坩埚，其特征在于，还包括：驱动齿轮和传动齿轮；
其中，所述驱动电机直接控制所述驱动齿轮转动；
所述驱动电机控制所述第二电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第一电热层围绕着所述第一导热部的外壁转动；
或者，所述驱动电机控制所述第一电热层转动，则所述驱动齿轮通过所述传动齿轮带动从动齿轮以控制所述第二电热层围绕着所述第二导热部的内壁转动。
8.如权利要求2-7任一项所述的坩埚，其特征在于，还包括：设置在所述第一电热层外壁一侧的第一辅助电热层，和/或，设置在所述第二电热层内壁一侧的第二辅助电热层。
9.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的坩埚。
10.一种对权利要求1-8任一项所述的坩埚的加热控制方法，其特征在于，包括：
开启坩埚；
控制所述第一导热部和所述第二导热部预热第一时长；
控制所述第一导热部和所述第二导热部加热第二时长；
待坩埚温度稳定后，控制所述第一导热部与第二导热部之间的容纳腔内的物料蒸发。
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- 本实用新型公开了一种真空镀膜装置，涉及真空镀膜技术领域。本实用新型包括镀膜机镀膜室，镀膜机镀膜室内壁底部固定有支架，支架顶端固定有下半球蒸发腔，下半球蒸发腔内表面固定有支撑夹具，镀膜机镀膜室内壁底部固定有抽真空泵，抽真空泵通过真空抽管与下半球蒸发腔连通，镀膜机镀膜室内壁顶部固定有升降机构。本实用新型通过上下半球型的蒸发腔设计，先装入基体工件，再闭合蒸发腔，通过在球形腔内设置靶材全方位蒸发镀膜，镀膜更加均匀，且多余蒸发材料又会重新附着于靶材表面，不仅减小材料损失，且不会造成蒸发腔污染，降低了生产成本和设备维护成本，提高设备镀膜腔使用寿命。
- 一种提高效率的真空镀膜装置-201910308644.X
- 王孟良 - 深圳天成机器有限公司
- 2019-04-17 - 2019-07-19 - C23C14/26
- 本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种提高效率的真空镀膜装置。它包括真空镀膜室、真空泵系统、蒸发器组件和加料组件；加料组件包括加料室、加料仓、送料机构和送料管，送料管的两端分别设置为进料口和出料口，进料口的高度高于出料口的高度，加料仓的底部设置有加料阀门。本装置通过送料机构将加料仓上装载的膜材输送至进料口处，进入到进料口内的膜材最终会由出料口输送至蒸发器组件内，以便于及时的为蒸发器组件添加新的膜材。该装置为蒸发器组件添加新的膜材时极为简便和快速，减少了手动为蒸发器组件添加膜材的次数和时间，从而能够提高整个真空镀膜装置的效率，具有很强的实用价值和市场推广价值。
- 可快速冷却的加热板及真空加热设备-201821796250.0
- 刘鹏飞 - 上海宏端精密机械有限公司
- 2018-11-01 - 2019-07-12 - C23C14/26
- 本实用新型实施例公开了一种可快速冷却的加热板及真空加热设备。其中，该可快速冷却的加热板包括：第一铝板、第二铝板、加热管和冷却管，第一铝板上设有第一埋线槽和第二埋线槽，第一铝板一侧设有第一开口、第二开口、第三开口和第四开口，第一埋线槽沿第一开口起始以等间距均匀盘绕至第二开口，第二埋线槽沿第三开口起始以等间距均匀盘绕在第一埋线槽外侧，延伸至第四开口，加热管设置在第一埋线槽内。冷却管设置在第二埋线槽内，冷却管的一端用于外接冷却进气管。冷却管的另一端用于外接冷却出气管，第二铝板叠设在第一铝板上，使加热管和冷却管位于第二铝板与第一铝板之间。通过以上结构从而解决加热板不能快速冷却以及冷却速度不均匀的问题。
- 用于真空加热的微型加热筒-201821796398.4
- 吴杰 - 上海宏端精密机械有限公司
- 2018-11-01 - 2019-07-12 - C23C14/26
- 本实用新型实施例公开了一种用于真空加热的微型加热筒。该微型加热筒，包括：第一筒体、第二筒体、加热管、多个放置架、固定组件和锁紧组件，多个放置架设置在第一筒体的外侧，加热管通过多个放置架固定盘绕在第一筒体的外侧，使第一筒体的内部形成加热区域，加热区域用于放置透明的石英管，第二筒体位于多个放置架的外侧并通过固定组件与第一筒体固定连接，第一筒体设有第一裂口，第二筒体设有第二裂口，且第二裂口与第一裂口的朝向相同；第二筒体在第二裂口的两侧分别设有第一凸台和第二凸台，第一凸台和第二凸台通过锁紧组件固定连接。本实用新型的微型加热筒可以作为微型蒸镀设备用于真空镀膜工艺中。
- 高效微型加热器-201821796504.9
- 徐宏林 - 上海宏端精密机械有限公司
- 2018-11-01 - 2019-07-12 - C23C14/26
- 本实用新型实施例公开了一种高效微型加热器。该加热器包括：锅体、盖体、铠装加热管、第一连接板、第二连接板、固定板、导线和接头；锅体的两侧开口且形成第一腔室和第二腔室；第一腔室和第二腔室分别设置于锅体的上、下侧。盖体与第二腔室形成密闭的容置空间；铠装加热管盘绕于容置空间中；第一连接板与第二连接板的一端分别连接在锅体上，另一端分别连接在固定板上，第一连接板和第二连接板形成第三腔室；固定板用于固定高效加热器；导线穿过第三腔室，且导线的一端还穿过锅体并与铠装加热管电性连接，另一端与接头电性连接；本实用新型设计的高效微型加热器，可以提高加热器的加热速率，且提高微型加热器的使用寿命。
- 一种全方位均匀蒸发的液晶玻璃镀膜机-201821600984.7
- 严由雄;陈新华;刘生华;刘武杰;温奇峰 - 赣州帝晶光电科技有限公司
- 2018-09-29 - 2019-07-05 - C23C14/26
- 本实用新型公开了一种全方位均匀蒸发的液晶玻璃镀膜机，包括箱体，所述箱体内左右两侧开设有对称设置的第一滑动槽，所述第一滑动槽内滑动连接有第一滑动块，所述第一滑动块和另一第一滑动块间设置有滑动杆，所述滑动杆的下端开设有第二滑动槽，所述第二滑动槽内滑动连接有第二滑动块，所述第二滑动块的下端外侧固定连接有外牙螺纹，所述第二滑动块的下端固定连接有蒸发喷头，所述箱体左右两侧的前端固定连接有铰链，所述箱体通过铰链转动连接有门板。该全方位均匀蒸发的液晶玻璃镀膜机，在现有的镀膜机的基础上，进行了添加滑动槽、滑动块和防滑垫的改动，确保了镀膜的效果均匀，箱体内下端设置有防滑垫，减少废料粘在液晶玻璃表面。
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