一种器件以及电子设备

专利号：CN202210344948.3

公布日：2023-10-24

申请人：华为技术有限公司

摆动体的摆动的幅度检测、幅度调节和方向检测

专利号：CN201910630120.2

公布日：2023-10-13

申请人：英飞凌科技股份有限公司

一种硅基网状石墨烯MEMS传感器及其制备方法

专利号：CN201911265551.X

公布日：2023-09-29

申请人：昆明理工大学

一种磁振子耦合共振型微纳称重器件与其制备方法

专利号：CN202111359184.7

公布日：2023-09-26

申请人：电子科技大学

一种超声传感器结构及其制造方法

专利号：CN202010112451.X

公布日：2023-09-26

申请人：上海集成电路研发中心有限公司

具有覆盖驱动的MEMS及其操作方法

专利号：CN202080108389.5

公布日：2023-09-22

申请人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会

微流体致动器的制造方法

专利号：CN201811405745.0

公布日：2023-09-05

申请人：研能科技股份有限公司

电子装置

专利号：CN202210162107.0

公布日：2023-09-01

申请人：群创光电股份有限公司

微电子机械传感器和用于制造微电子机械传感器的方法

专利号：CN201910374953.7

公布日：2023-09-01

申请人：英飞凌科技德累斯顿公司

一种MEMS增强质量块惯性器件及其制备方法

专利号：CN202110760047.8

公布日：2023-08-29

申请人：美满芯盛（杭州）微电子有限公司

一种适用于流体界面上微小物体组装和重构的方法及其应用

专利号：CN202011252868.2

公布日：2023-08-22

申请人：西湖大学

包括体积减少的压电致动器的MEMS设备

专利号：CN201710972205.X

公布日：2023-08-22

申请人：意法半导体股份有限公司

MEMS桥梁柱结构及形成方法

专利号：CN201911125309.2

公布日：2023-08-22

申请人：上海华虹宏力半导体制造有限公司

在微机电系统(MEMS)装置中耦合折叠弹簧

专利号：CN202310644600.0

公布日：2023-08-18

申请人：美国亚德诺半导体公司

一种多刺激响应致动薄膜及其制备和应用

专利号：CN202010101016.7

公布日：2023-08-18

申请人：东华大学