溅射靶及其制造方法

专利号：CN202280007352.2

公布日：2023-10-27

申请人：JX金属株式会社

一种低钪铝钪合金靶材缺陷处理方法

专利号：CN202210714592.8

公布日：2023-10-27

申请人：先导薄膜材料（广东）有限公司

溅射装置及使用其形成半导体结构的方法

专利号：CN202310720707.9

公布日：2023-10-27

申请人：润芯感知科技（南昌）有限公司

一种铝钪合金溅射靶的制备方法及应用

专利号：CN202010114483.3

公布日：2023-10-27

申请人：湖南东方钪业股份有限公司

一种铜铬镍合金背板及其制备方法和应用

专利号：CN202310992603.3

公布日：2023-10-24

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司;丹东华强有色金属加工有限公司

一种提高奥氏体不锈钢火箭橇滑块表面性能的方法

专利号：CN202310887728.X

公布日：2023-10-24

申请人：太原理工大学;航宇救生装备有限公司

使用间距补偿降低靶材寿命内的基板温度不均匀性

专利号：CN202280019563.8

公布日：2023-10-24

申请人：应用材料公司

一种锆钇铬合金溅射靶材的加工工艺

专利号：CN202310979383.0

公布日：2023-10-24

申请人：苏州六九新材料科技有限公司;北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司

提高海水液压泵奥氏体不锈钢摩擦配副表面性能的方法

专利号：CN202310887784.3

公布日：2023-10-24

申请人：太原理工大学

成膜方法和成膜装置

专利号：CN202180093627.4

公布日：2023-10-24

申请人：株式会社爱发科

一种铝基合金靶材及其制备方法

专利号：CN202310959111.4

公布日：2023-10-20

申请人：苏州六九新材料科技有限公司

一种半导体用低氧粉末冶金钽靶的制备方法

专利号：CN202311046387.X

公布日：2023-10-20

申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司

真空溅射镀膜机台的晶圆传送方法及传送装置、存储介质

专利号：CN202311100788.9

公布日：2023-10-20

申请人：上海华力微电子有限公司

一种溅镀装置

专利号：CN202311032149.3

公布日：2023-10-20

申请人：宁波工程学院

靶材以及黑化膜

专利号：CN202310365619.1

公布日：2023-10-20

申请人：大同特殊钢株式会社