搜索结果(共计:5条)
专利号:CN201980060660.X
公布日:2023-06-30
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN202011561805.5
公布日:2023-05-12
申请人:瓦里安半导体设备公司
专利号:CN202080077057.5
公布日:2022-06-17
申请人:应用材料股份有限公司
专利号:CN202080070072.7
公布日:2022-05-17
申请人:应用材料股份有限公司
专利号:CN201780040167.2
公布日:2021-01-19
申请人:瓦里安半导体设备公司