搜索结果(共计:12条)
专利号:CN202210752579.1
公布日:2022-09-13
申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
专利号:CN201711212327.5
公布日:2021-02-23
申请人:清华大学
专利号:CN201910294854.8
公布日:2020-11-24
申请人:清华大学
专利号:CN201811210684.2
公布日:2020-08-18
申请人:清华大学
专利号:CN201910294860.3
公布日:2020-08-18
申请人:清华大学
专利号:CN201910308206.3
公布日:2020-08-18
申请人:清华大学
专利号:CN201810643749.6
公布日:2019-09-20
申请人:清华大学
专利号:CN201810650004.2
公布日:2019-09-20
申请人:清华大学
专利号:CN201710131929.1
公布日:2019-02-22
申请人:清华大学
专利号:CN201711212348.7
公布日:2018-04-20
申请人:清华大学
专利号:CN201510867026.0
公布日:2016-03-16
申请人:清华大学
专利号:CN201220300922.0
公布日:2013-03-20
申请人:武汉理工大学