搜索结果(共计:14条)
专利号:CN202210713961.1
公布日:2022-10-11
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN202110827083.1
公布日:2022-08-19
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN202210417998.X
公布日:2022-07-08
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN202210024026.4
公布日:2022-03-11
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN202111370502.X
公布日:2022-02-25
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN202110909603.3
公布日:2021-10-22
申请人:北京烁科精微电子装备有限公司
专利号:CN201711306370.8
公布日:2020-04-28
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201711433659.6
公布日:2020-02-11
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201510659924.7
公布日:2019-05-17
申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所
专利号:CN201710208319.7
公布日:2019-01-25
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201711425986.7
公布日:2018-06-15
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201710595601.5
公布日:2017-10-17
申请人:北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)
专利号:CN201210477596.5
公布日:2017-04-19
申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所
专利号:CN201210515505.2
公布日:2013-04-03
申请人:中国电子科技集团公司第四十五研究所