搜索结果(共计:9条)
专利号:CN202210844502.7
公布日:2023-07-11
申请人:南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202111613336.1
公布日:2023-06-30
申请人:南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN202111615369.X
公布日:2023-06-30
申请人:南昌中微半导体设备有限公司;中微半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201911411224.0
公布日:2023-03-07
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司
专利号:CN202011606927.1
公布日:2022-07-01
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司
专利号:CN202023270443.2
公布日:2021-09-28
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司
专利号:CN201911405406.7
公布日:2021-07-16
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司
专利号:CN201922459233.9
公布日:2020-09-25
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司
专利号:CN202020138314.9
公布日:2020-09-08
申请人:中微半导体设备(上海)股份有限公司;南昌中微半导体设备有限公司