搜索结果(共计:4条)
专利号:CN202210406596.X
公布日:2023-10-27
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202210731188.1
公布日:2023-07-07
申请人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
专利号:CN202310090360.4
公布日:2023-05-12
申请人:上海集成电路材料研究院有限公司
专利号:CN202210146662.4
公布日:2022-05-24
申请人:上海集成电路材料研究院有限公司